"多重曝光"技术助力芯片制程突破，这家公司产品在"多重曝光"技术路径下需求工序数和设备数有望大 幅提高，当前客户类型涵盖了逻辑、存储、化合物半导体、硅基OLED等，目前75%+增量订单来自新 型存储+3D NAND+DRAM。 微导纳米（688147）精要： ①国内半导体大厂致力于将芯片制程向7nm以下突破，"多重曝光"成为了制程突破的关键技术之一，即 将原本一层光刻的图形拆分到多个掩模上，利用光刻Litho和刻蚀Etch实现更小制程； ②在引入多重曝光技术后，原子层沉积（ALD）需求工序数和设备数均大幅提高，公司以ALD技术为核 心，已开发出多款薄膜沉积设备； ③公司半导体设备在新型存储和硅基OLED领域已取得开创性进展，客户类型涵盖了逻辑、存储、化合 物半导体、硅基OLED等，其中超过75%的增量订单来自存储领域（新型存储、3DNAND和DRAM）； ④东北证券赵丽明预计公司2024-2026年归母净利润分别为5.86/7.71/9.86亿元，同比增长 116.80%/31.54%/27.85%，对应PE为16/13/10倍； ⑤风险提示：产品验证进度不及预期、需求不及预期等。 "多重曝光"技术助力芯片制 ...