苏大维格:关于对深圳证券交易所关注函的回复公告

证券代码：300331 证券简称：苏大维格 公告编号：2023-064 苏州苏大维格科技集团股份有限公司 关于对深圳证券交易所关注函的回复公告 | 释义项 | 指 | 释义内容 | | --- | --- | --- | | 公司、本公司、上市公司、苏 | 指 | 苏州苏大维格科技集团股份有限公司 | | 大维格 | | | | 光刻技术 | 指 | 利用光学-化学反应原理和化学、物理刻蚀方法，将 | | | | 设计好的微图形结构转移到覆有光刻胶等感光材料 | | | | 的晶圆、玻璃基板、覆铜板等基材表面上的微纳制造 | | | | 技术。 | | 光刻设备 | 指 | 光刻机、光刻系统 | | 掩模光刻 | 指 | 光源发出的光束，经掩模版在光刻胶等感光材料上成 | | | | 像。掩模光刻属于光刻技术的一种，其可进一步分为 | | | | 接近/接触式光刻以及投影式光刻。 | | 无掩模光刻 | 指 | 又称直写光刻，是计算机控制的高精度光束聚焦投影 | | | | 至涂覆有感光材料的基材表面上，无需掩模直接进行 | | | | 扫描曝光。 | | 电子束光刻 | 指 | 利用电子束在涂有电子抗蚀剂的 ...