中微公司(688012) - 2025 Q4 - 年度业绩预告

证券代码：688012 证券简称：中微公司 公告编号：2026-010 中微半导体设备（上海）股份有限公司 2025 年年度业绩预告的自愿性披露公告 公司预计 2025 年度实现归属于母公司所有者的扣除非经常性损益的净 利润为 15.00 亿元至 16.00 亿元，与上年同期（法定披露数据）相比，将增加 1.12 亿元至 2.12 亿元，同比增加约 8.06%至 15.26%。 公司针对先进逻辑和存储器件制造中关键刻蚀工艺的高端产品新增付运 量显著提升，先进逻辑器件中段关键刻蚀工艺和先进存储器件的超高深宽比刻蚀 工艺实现了稳定可靠的大规模量产。其中 CCP 方面，公司用于关键刻蚀工艺的 单反应台介质刻蚀产品保持高速增长，能够全面覆盖存储器刻蚀应用中各类超高 深宽比需求；ICP 方面，适用于下一代逻辑和存储客户用 ICP 刻蚀设备和化学气 相刻蚀设备开发取得了良好进展，加工的精度和重复性已达到单原子水平。到 2025 年底，刻蚀设备反应台全球累计出货超过 6,800 台。公司的 CDP 产品部门 为先进存储器件和逻辑器件开发的 LPCVD, ALD 等十多款导体和介质薄膜设备 已经顺利进入市场，并且设备性能完全 ...