华工科技半导体激光装备产业创新联合实验室启动

未来，联合实验室将建设成为全国一流的半导体激光装备研发平台，可全方位提升国产半导体激光装备 的性能与竞争力，推动武汉激光产业升级换代，助力搭建完整的武汉市半导体产业链。 联合实验室是武汉市首批10家联合实验室之一，以半导体关键制程激光装备落地应用为目标，着力攻克 产业重大关键核心技术，开发出半导体晶圆激光加工、检测装备等产业链关键制程激光装备，并实现批 量应用。 证券时报e公司讯，12月24日，华工科技半导体激光装备产业创新联合实验室启动仪式在华工激光举 行。 ...