艾恩半导体试补芯片产业“关键拼图” 破局离子注入机国产化替代

离子注入机，是芯片制造中难度仅次于光刻机的核心设备，也是中国构建完整产业链条绕不过去的关键环节。 眼下，济南艾恩半导体科技有限公司（下称"艾恩半导体"）创始人钟新华却正试图聚拢资本、技术团队和数百供应商等资源，在这一领域发起一场将科研技 术产业化、追赶国际先进水平的挑战。 钟新华曾是某央企CTO（首席技术官），有着20年研发离子注入机的经历。2023年他开始自主创业，在广州注册成立了广州市艾恩半导体科技有限公司，去 年又将公司以及产能全部迁至山东济南。 离子注入机与光刻机、刻蚀机和镀膜机一起并称"芯片制造的四大关键装备"。在全球，目前4家国外龙头企业占据离子注入机90%以上的市场份额。在国 内，离子注入机的国产化率尚不足10%，至今没有与国际主流技术相持平的企业。这也成为中国芯片产业链上的重要卡点、堵点。 可是，一项高难度的技术从实验室到产业化，需要跨越资金、市场、供应链、技术迭代等层层障碍，钟新华本人也要面临从一个"两点一线"的技术人员 向"全国到处飞"的企业家转型的重重考验。 目前，济南新工厂生产的第一台硅基中束流离子注入机已到了最终安装调试阶段，预计6月即可下线，其他两种机型产品也将于今年陆续下线。按照 ...