中芯国际取得一种热处理装置专利，降低晶圆放置出现位置偏差的概率

中芯国际集成电路制造（上海）有限公司，成立于2000年，位于上海市，是一家以从事专用设备制造业 为主的企业。企业注册资本244000万美元。通过天眼查大数据分析，中芯国际集成电路制造（上海）有 限公司共对外投资了4家企业，参与招投标项目127次，财产线索方面有商标信息149条，专利信息5000 条，此外企业还拥有行政许可443个。 金融界2025年6月7日消息，国家知识产权局信息显示，中芯京城集成电路制造（北京）有限公司、中芯 国际集成电路制造（上海）有限公司取得一项名为"一种热处理装置"的专利，授权公告号 CN222953038U，申请日期为2024年07月。 专利摘要显示，本申请提供一种热处理装置，包括：工艺腔室；承托环，设置在所述工艺腔室内，所述 承托环包括环体，所述环体的第一面用于承托晶圆，所述第一面设置有限位部，所述限位部设置有缺口 对，所述缺口对关于所述环体的中心呈中心对称分布；光源发生器和光源接收器，所述光源发生器和所 述光源接收器设置在所述工艺腔室内部，且关于所述环体的中心呈中心对称分布；所述光源发生器用于 发出光源，所述光源接收器用于接收所述光源并在未接收到所述光源时发出警报。 天眼查资料显 ...