恒运昌科创板IPO获受理 拟募资15.5亿元

据了解，等离子体射频电源系统是半导体设备零部件国产化最难关卡之一，技术壁垒高、研发投入大、研发周期长、生产的"精确复制"要求极 高，因而国产化率极低。根据弗若斯特沙利文统计，2023年中国大陆半导体领域等离子体射频电源系统的国产化率不足7%，属于被"卡脖子"最严 重的环节之一。 恒运昌聚焦于等离子体射频电源系统的技术攻关，历经十年，先后推出CSL、Bestda、Aspen三代产品系列，成功打破了美系两大巨头MKS和AE 长达数十年在国内的垄断格局。恒运昌自主研发的第二代产品Bestda系列可支撑28纳米制程，第三代产品Aspen系列可支撑14纳米先进制程，达到 国际先进水平，填补国内空白。与此同时，国内主要晶圆厂被美国商务部列入实体清单后，无法向原海外设备供应商采购备件或申请维修服务， 恒运昌为此承接了进口等离子体射频电源系统的原位替换及维修的业务。 恒运昌已具备成熟的规模化量产能力，公司产品已量产交付拓荆科技、中微公司、北方华创、微导纳米、盛美上海等国内头部半导体设备商，并 成为薄膜沉积、刻蚀环节国内头部设备商的战略级供应商。截至2024年末，恒运昌与上述客户已实现百万级收入的自研产品共30款，实现千万级 ...