中微公司逐梦全球半导体设备第一梯队

● 本报记者 乔翔 "如果没有微观加工的能力、没有微观加工的设备、没有集成电路的发展，如今1TB的储存芯片，回到 60年前是多大？答案是需要800万栋5层大楼来容纳。其中起关键作用的是整个半导体产业链的发展，从 设计到制造，从设备到零部件，缺一不可。"聚光灯下，中微公司董事长、总经理尹志尧的对比令人震 撼。 6月14日，在上海市普陀区举行的2025科技金融与产业创新大会上，这位年过八旬的行业元老以其亲历 的产业变迁，揭示了中微公司何以在半导体设备的全球竞技场中通过技术突围不断做大做强。 从误打误撞成为进入英特尔中心研究开发部的最早一批中国留学生，到学成归国创业并带领中微公司在 巨头垄断中杀出血路，尹志尧的职业生涯恰是中国半导体设备从零起步的缩影。当演讲聚焦于"技术创 新、产品差异化与知识产权保护"命题时，尹志尧所想传递的不仅是中微公司的生存法则，更是中国芯 片产业链必须攻克的战略高地。 不断扩大产品覆盖率 在芯片微观世界的创造中，器件结构和制程工艺技术的进化，推动了微观器件不断缩小的革命性变化。 存储器件内部架构从2D到3D的转换，使等离子体刻蚀和薄膜制程成为关键的核心步骤，市场也对这两 类设备的需求量大大增 ...