光刻技术“神坛”崩了,巨头纷纷退货,“平替”杀来了!
Xin Lang Cai Jing·2025-06-27 10:22
以前聊芯片制造,谁不提光刻机就得被当成外行——ASML的EUV光刻机,那可是比春运火车票还难抢 的硬通货,一台卖3亿多欧元,台积电、三星抢破头,咱们想买还得看人家脸色。但最近半导体圈炸了 个大新闻:英特尔高管当众放话"光刻将不再那么重要",台积电说High-NA EUV至少5年不用,三星把 DRAM生产计划推迟到2030年。花天价买回来的顶级光刻机,居然开始"吃灰"?这哪是技术迭代,分明 是半导体圈的"真香定律"失灵了! 这时候,刻蚀技术突然成了"关键先生"。 一、High-NA EUV:从"天价顶配"到"仓库积灰" 要聊清楚这事儿,得先说说High-NA EUV是个啥。简单说,它就是ASML推出的"光刻机Pro Max Ultra 版"——普通EUV用的是0.3数值孔径(NA),能刻13.5nm的线;High-NA EUV把NA提到0.55,理论上 能刻8nm,号称"为1nm以下制程而生"。2023年那会儿,这玩意儿火得一塌糊涂:英特尔2018年就下 单,2023年底催着ASML交货;台积电、三星紧随其后,生怕晚一步就落后对手一代工艺。ASML自己 也吹:"High-NA EUV将定义半导体的下一个十年!" ...