泰安｜泰安攻克多项“卡脖子”技术

7月9日，地处新泰的电子级新材料产业园一片忙碌而喜庆景象——当天，达到"6个9"国际领先标准 的电子级硅烷气体正式"走下"生产线，未来将直接用于先进半导体制造。该项目全部达产后，年可实现 营业收入18亿元、税收1.2亿元。 甲硅烷又称电子级硅烷，是半导体微电子工艺中使用的最主要的特种气体之一，它就像盖房子时必 不可少的砖块一样，是生产先进芯片不可或缺的关键材料。 山东兴泰硅材科技有限责任公司行政副总经理宋涛向记者介绍："以前，半导体行业用的高纯度甲 硅烷全被国外企业垄断。现在我们成功攻克技术难关，让甲硅烷的纯度达到了99.9999%的'6个9'超高标 准，彻底打破了国外的技术封锁！" 攀"高"逐"新"、向"质"图强。当前，面对在关键技术领域被"卡脖子"的挑战，泰安全力推进新型工 业化强市建设，大力发展新质生产力，打造新型工业化"强引擎"，电子级硅烷项目的"革命性"突破正是 泰安市聚全市之力实施新型工业化、实现"惊险一跃"式创新的一个缩影。 "推进产业升级、科技创新，我们聚焦关键环节精准发力，充分发挥企业主体作用，优化平台支 撑，打造良好生态，把科技创新'关键变量'转化为产业升级'最大增量'。"泰安市委书记杨洪 ...