突破技术垄断壁垒 国产AMHS挺进半导体“主战场”

2022年秋，华天科技（002185）先进封装生产线的测试车间，国产AMHS正经历最严苛的"成人礼"--168 小时无故障连续运行测试。这不是简单的耐力测试，而是对研发、生产、调试全周期质量体系的终极检 验。中佳知识产权专家李申评价："这不仅是设备创新，更是符合新质生产力要求的技术范式重构。" 在半导体设备出口管制的背景下，成川科技实现导轨电机、精密传感器等核心部件100%国产替代。目 前，成川科技正联合上下游攻关晶圆厂特殊环境适应性难题，力求在天车防微振、防静电等关键指标上 实现突破。 江苏苏州，成川科技（苏州）有限公司（以下简称"成川科技"）AMHS Demo线展厅内，银色天车在四 米轨道上疾驰而过，每秒5.2米的极速穿梭中，晶圆盒抓取定位误差精准锁定在±1毫米--这条跃动的"空 中走廊"，宣告着中国在半导体自动物料搬运系统（AMHS）领域实现历史性突围。 AMHS被喻为晶圆厂的"空中高速公路"，天车需在万级洁净环境中实现7×24小时无间断精准搬运。面对 日本大福与村田构筑的专利壁垒，成川科技创始人顾晓勇带领团队开启系统级创新。"我们不仅要突破 机械设计、运动控制等模块技术，更要攻克ISO Class 1 ...