至纯科技2025年上半年营收16.08亿元 电子材料业务同比大幅增长

公司坚持高研发投入，上市至今累计研发投入超18亿元，在半导体设备与材料领域实现多项关键突破， 是国内能提供到28纳米制程节点全部湿法工艺的本土供应商。公司在高纯工艺系统市场占据领先地位， 2016-2024年中国大陆主流12寸晶圆厂41次特气中标结果中，公司市占率达48.8%；化学品设备及系统的 市占率超过30%。截至2025年6月30日，公司累计申请专利达865件，其中包括356件发明专利和23件 PCT国际申请；已获授权专利615件，含发明专利194件。此外，公司还拥有软件著作权185件、注册商 标163件。今年上半年，公司取得一件针对槽式清洗设备SPM酸洗工艺的美国专利授权，标志着公司开 始布局国际专利，获得国际市场的权威认可。 至纯科技始终紧密围绕国家战略，始终坚持以技术创新为驱动，在半导体设备与材料领域实现了多项关 键突破，成功打破国外厂商长期垄断的局面，为产业链安全与可持续发展提供了坚实支撑。公司构 建"工艺—设备—材料"三位一体布局，前瞻性推进供应链国产化，已建立的完备的备货体系和技术储 备，能够有效应对外界干扰，为产业用户持续提供高质量服务。当前公司在手订单充足，总额达134.14 亿元(含长 ...