依托辽宁优势加速布局“原子级制造”

孙吉宁 大连理工大学机械工程学院教授，本科和硕士毕业于北京大学物理学院，在英国赫瑞瓦特大学获博 士学位，国家高层次人才，辽宁省人才集聚项目入选者，大连市长期创新人才，英国高等教育学会会 士，国际纳米制造学会青年委员会委员。主要研究方向为原子及近原子尺度制造、微纳功能表面。 记者：大连理工大学在ACSM领域开展了哪些研究工作，取得了哪些突破？ 孙吉宁：依托在高性能制造领域的深厚积淀，大工在ACSM领域形成了特色鲜明的研究体系。2023 年，我们联合国际纳米制造学会，在大连成功举办了第三届国际纳米制造学会先进制造研讨会，会聚了 国内外百余位领域顶尖专家，为全球学者搭建了交流平台。2024年，我们与房丰洲教授共同撰写了领域 综述论文，系统梳理研究进展、指明发展方向，获得了国际同行的广泛关注。 在核心技术突破方面，我们依托高性能精密制造全国重点实验室，取得了多项关键成果。一是提出 了原子尺度半导体刻蚀新方法与新工艺，实现了0.1纳米级的刻蚀深度可控。二是攻克了原子级平整表 面加工技术，为高性能器件制造提供了关键基础。三是发展了原子尺度材料去除动态仿真方法，为理解 和预测ACSM过程提供了有效的理论支撑。此外，我们在跨 ...