市场监管总局：1到11月批准发布85项国家标准物质支撑“双碳”和精密制造

经济观察网据央视新闻，12月9日，记者了解到，今年1到11月，市场监管总局新批准发布85项服务"双 碳"工作和精密制造产业发展的国家标准物质，为提高碳测量数据和精密制造测量数据精准性提供有力 支撑。在服务精密制造产业发展方面，批准发布高纯氮、高纯氧等13项电子气体国家标准物质。在半导 体器件制造过程中，高纯度电子气体标准物质可用于清洗、刻蚀、沉积等多个关键环节，确保晶圆的纯 净度和性能。在集成电路生产过程中，高纯度电子气体标准物质在光刻、离子注入、氧化等工艺中发挥 着重要作用，保障集成电路的稳定性和可靠性。 ...