助力国产替代,仪器核心零部件公司完成新一轮融资
Xin Lang Cai Jing·2026-01-13 11:33

1月12日消息,近日,专攻原子力显微镜(AFM)探针研发的探真纳米科技(衢州)有限公司完成新一 轮股权融资,获得衢州绿石新材料股权投资合伙企业(有限合伙)与杭州德甫股权投资有限责任公司共 计超千万元的投资。 据悉,融资轮次为Pre-A/A轮,资金将重点优化探针的批量化制备工艺,提升产品稳定性和良率。此外 还将用于原子力显微镜(AFM)探针的全品类研发与新产线的布置。 据悉,探真纳米科技成立于2016年,位于浙江省衢州市,凭借其在微纳加工领域多年的技术与工艺积 累,通过基于干法刻蚀的创新微纳加工工艺,实现了从晶圆起步的探针开发,在探针的曲率半径、深宽 比和使用寿命等关键指标上已部分处于国际领先水平。今年年初,公司自主研发的AFM探针产品已实 现上市销售。 原子力显微镜(AFM)是纳米科技、材料科学,半导体工业以及生命科学等诸多领域不可或缺的高精 度检测仪器,在半导体制造中,AFM承担着"质量把关"的角色,通过纳米级别的探针对芯片进行精密 扫描,判断工艺是否达标。AFM探针作为原子力显微镜的核心消耗部件,使用频率高且复购属性强, 但长期以来依赖进口,价格高昂且供应受限,在科研和产业应用中逐渐成为成本与供应链风险的 ...