我国研发首款等离子体工艺腔室仿真平台

原子级制造是推进新型工业化的核心"根技术"，然而却一直面临技术瓶颈。15日，记者从大连理工大学 获悉，该校科研团队研发出国内首款具有自主知识产权的等离子体工艺腔室仿真平台（MAPS），在虚 拟世界中复现真实的制造过程，以实现产品的提前研发和性能预判。 目前，辽宁省将原子级制造纳入未来产业重点方向，依托重点实验室群等载体，组织开展原子级制造技 术专题路演推介等活动。辽宁省科学技术厅副厅长许爱东表示："辽宁省设立了未来产业的科技计划， 围绕原子级制造、量子科技、具身智能等方向开展基础研究和前沿攻关，将努力形成一批助力产业发展 的'根技术'加快实现'换道超车'。" （文章来源：科技日报） 大连理工大学集成电路学院党委书记、博士生导师高飞介绍，MAPS可以针对产业界的原子级制造装备 进行全方位仿真，包括外控参数、装置几何结构，MAPS将给出最终演化结果，从而节省整个部件研发 时间，提高研发效率。依托大连理工大学学科优势，经过多年技术攻关、数万次等离子体实验测试后， 目前该技术已应用于拓荆科技、华为等多家集成电路装备企业，较国外同类型产品节约经济成本15%、 节约时间成本20%。 大连理工大学国家重点学科等离子体物理学 ...