黄渤海新区高纯乙硅烷实现自主量产

本报烟台讯 烟台黄渤海新区特色半导体产业传来一条重磅喜讯——日前，新区企业烟台万华电子材料 有限公司(以下简称"万华电子材料公司")正式对外宣布：公司自主研发的高纯度乙硅烷实现规模化、稳 定化量产，这标志着我国在高端电子特气领域又攻克了一项"卡脖子"关键技术。 □记者 从春龙 通讯员 隋翔宇 邵康 肖傲 报道 "下一步，我们将继续扎根乙硅烷，拓展电子特气，并打造'一站式'服务平台，在助力中国半导体产业 发展的同时，加速拓展全球市场。"万华电子材料公司董事长王耀西表示。 据了解，乙硅烷系14纳米以下先进制程，尤其是存储芯片堆叠中的关键材料，以往长期依赖进口。作为 万华旗下专业从事电子特气产品研发生产的企业，万华电子材料公司成立之初，就以乙硅烷为切入点， 力求实现集成电路产业关键材料的国产替代。经过从小试、中试到产业化的持续艰苦探索，最终形成了 具有完全自主知识产权的工艺包，并于2025年成功实现高纯乙硅烷的规模化稳定生产。 万华电子材料公司的创新突破，也可谓黄渤海新区特色半导体产业快速发展的一个缩影。近年来，新区 将特色半导体列为两大战略性新兴产业之一进行大力培育，聚焦光电半导体、功率半导体两大主攻方 向，高标 ...