国产射频电源龙头恒运昌登陆科创板

截至2025年6月30日，公司累计获得261项授权专利，其中发明专利108项，另有133项发明专利处于申请 阶段，同时承担工业和信息化部、科技部三项国家级重大科研课题。 本报讯 1月28日，国内半导体设备核心零部件领军企业深圳市恒运昌真空技术股份有限公司（以下简 称"恒运昌"，688785.SH）正式在上海证券交易所鸣锣上市，成为2026年第一家科创板上市企业，中国 半导体产业链又添一员。 打破海外垄断 稳居国产射频电源第一梯队 恒运昌的核心产品等离子体射频电源系统被誉为控制等离子体的"纳米手术刀"，直接决定芯片刻蚀与薄 膜沉积工艺的精度与良率，是半导体设备中最核心、技术壁垒最高的零部件之一。长期以来，这一领域 被美国MKS与AE两大巨头垄断，2024年国产化率不足12%。 面对这一技术关卡，恒运昌坚持自主创新，历经十余年持续投入，成功构建了涵盖信号采样与处理、相 位锁定、同步控制等在内的三大基石技术体系，并衍生出八大产品化支撑技术，形成完全自主可控的核 心技术链。公司先后推出CSL、Bestda、Aspen三代产品系列，其中第二代Bestda系列已支持28纳米制 程，第三代Aspen系列更可覆盖7-14纳米 ...