2026年中国半导体设备特殊涂层零部件行业进入壁垒、市场政策、发展现状、竞争格局及发展趋势分析：外资企业在先进制程领域占据绝对主导地位[图]

内容概要：特殊涂层零部件常应用于半导体设备反应腔内，是构建设备工艺环境、距离半导体晶圆最 近、直接参与晶圆工艺反应或与晶圆直接接触的关键工艺零部件，其性能指标构成半导体设备工艺能力 的决定性因素，近年来，我国半导体设备特殊涂层零部件随着半导体设备市场的繁荣而发展壮大，据统 计，2025年我国半导体设备特殊涂层零部件行业市场规模达51.3亿元，同比增长22.1%。 相关上市企业：先锋精科（688605）、珂玛科技（301611）、富创精密（688409） 相关企业：高美可科技（无锡）有限公司、东陶（中国）有限公司、东贺隆（昆山）电子有限公司、重 庆臻宝科技股份有限公司、北京亦盛精密半导体有限公司、成都超纯应用材料股份有限公司 关键词：半导体设备特殊涂层零部件行业进入壁垒、半导体设备特殊涂层零部件市场政策、半导体设备 特殊涂层零部件产业链图谱、半导体设备特殊涂层零部件市场规模、半导体设备特殊涂层零部件竞争格 局、半导体设备特殊涂层零部件发展趋势 一、概述 特殊涂层是指通过气相沉积、气溶胶、高密度等离子喷涂等特殊涂层工艺在设备零部件表面形成高致密 度、低孔隙率的涂层，可以稳定工艺条件和延长产品寿命。而半导体设备特殊 ...