国林科技：半导体专用臭氧系统设备能够产生高浓度、超纯净的臭氧

证券日报网讯2月2日，国林科技（300786）在互动平台回答投资者提问时表示，公司的半导体专用臭氧 系统设备能够产生高浓度、超纯净的臭氧，臭氧在电子工业领域被广泛用于形成CVD及ALD薄膜、氧 化物生长等工艺环节。在3D NAND存储芯片结构中，臭氧因其高氧化性、清洁效率和环保特性，能够 满足半导体制造对精度、缺陷控制和材料兼容性的严苛要求，从而实现纳米级均匀氧化层的形成。 ...