2026年中国高纯三氯化硼行业产业链、市场规模及发展趋势研判：先进制程驱动行业开展“纯度”竞赛，攻克合成与痕量杂质核心技术成行业决胜关键[图]

内容概况：中国高纯三氯化硼行业正处在国产化替代攻坚与产业升级并举的关键发展期。2024年，中国 高纯三氯化硼行业市场规模为32.22亿元，同比增长6.72%。随着先进半导体制程的演进，对气体纯度的 要求已从5N向5N5、6N乃至更高等级发展，这要求企业必须持续攻克无氧无水合成、痕量杂质分析与 去除等核心技术。 一、行业概述 高纯三氯化硼（Boron Trichloride，BCl₃）指纯度≥99.999 %（5N级）的三氯化硼。常温下为无色发烟液 体或气体，具有强烈刺激性酸味；不可燃，但遇水剧烈水解生成氯化氢和硼酸，在潮湿空气中形成白色 腐蚀性烟雾。它是半导体、光电等高端制造中的关键电子特气，用作硅片的p型掺杂源、干法蚀刻剂以 及铝/镁合金的提纯剂等，属于战略级高纯化学品。 高纯三氯化硼物理性质 二、行业产业链 高纯三氯化硼行业产业链上游主要包括硼矿及硼化合物、氯气、催化剂、吸附剂、有机溶剂、惰性气体 等原材料，以及高温反应釜、精馏塔、吸附塔等生产设备。产业链中游为高纯三氯化硼生产制造环节。 产业链下游主要应用于半导体、显示面板、光伏、量子计算、新能源电池等领域。 高纯三氯化硼行业产业链 根据美国地质局数据显 ...