芯片法案试点生产线NanoIC启动，高“设备”含量的科创半导体ETF（588170）近3月规模增长42.96亿元

规模方面，科创半导体ETF近3月规模增长42.96亿元，实现显著增长，新增规模领先同类；半导体设备 ETF华夏最新规模达27.59亿元。 资金流入方面，科创半导体ETF最新资金净流出6371.43万元。拉长时间看，近10个交易日内，合计"吸 金"1.82亿元；半导体设备ETF华夏最新资金净流入382.94万元。拉长时间看，近21个交易日内有15日资 金净流入，合计"吸金"12.69亿元，日均净流入达6042.88万元。 截至2026年2月10日 11:04，上证科创板半导体材料设备主题指数下跌0.31%。成分股方面涨跌互现，华 峰测控领涨7.20%，兴福电子上涨5.36%，艾森股份上涨2.79%；神工股份领跌4.61%，耐科装备下跌 4.02%，中科飞测下跌3.90%。科创半导体ETF（588170）下跌0.39%，最新报价1.77元。 截至2026年2月10日 11:06，中证半导体材料设备主题指数下跌0.65%。成分股方面涨跌互现，华峰测控 领涨7.53%，艾森股份上涨2.79%，京仪装备上涨2.10%；神工股份领跌4.55%，矽电股份下跌4.18%，康 强电子下跌4.13%。半导体设备ETF华夏（562 ...