珂玛科技7.5亿元可转债获深交所通过 加速半导体先进陶瓷国产替代进程 | A股融资快报

作为国内先进陶瓷材料及零部件的领军企业，珂玛科技自2009年成立以来，始终聚焦于半导体设备前道 工艺中高精度、高可靠性陶瓷零部件的研发与制造。公司掌握氧化铝、氧化锆、氧化钇、氧化钛、氮化 铝、碳化硅等六大类基础材料体系，累计开发超万款定制化零部件，产品广泛应用于刻蚀、薄膜沉积、 离子注入、光刻及氧化扩散等核心制程设备，部分零部件直接接触晶圆，技术门槛极高。目前，公司已 通过北方华创、中微公司、拓荆科技、上海微电子等国内主流半导体设备厂商的认证，并实现批量供 货，是国内少数实现高端陶瓷部件国产替代的供应商之一。 本次可转债募投项目聚焦"结构功能模块化陶瓷部件产品扩建"与"半导体设备用碳化硅材料及部件"两大 方向。其中，结构功能模块化陶瓷部件产品扩建项目拟投入募集资金4.88亿元，重点建设静电卡盘专用 产线并扩大陶瓷加热器产能。项目达产后，预计年均新增销售收入5.78亿元，税后内部收益率17.82%， 投资回收期7.60年（含建设期），产品将覆盖SACVD、PECVD、ALD、PVD、激光退火和刻蚀等主流 设备类型，提升公司在高端功能部件领域的供应能力。 半导体设备用碳化硅材料及部件项目拟投入5200万元，由控股 ...