中芯国际预计今年资本开支与2025年相比大致持平，高“设备”含量的科创半导体ETF（588170）昨日资金净流入1.17亿元

截至2026年2月11日10:21，上证科创板半导体材料设备主题指数(950125)下跌0.78%。成分股方面涨跌互 现，耐科装备领涨2.20%，华峰测控上涨1.93%，华海清科上涨0.87%；神工股份领跌4.01%，芯源微下 跌3.26%，京仪装备下跌2.58%。科创半导体ETF(588170)下跌0.73%，最新报价1.76元。 截至2026年2月11日10:23，中证半导体材料设备主题指数(931743)下跌0.78%。成分股方面涨跌互现，广 立微领涨6.02%，有研新材上涨2.38%，华峰测控上涨2.26%；珂玛科技领跌3.61%，神工股份下跌 3.07%，芯源微下跌3.00%。半导体设备ETF华夏(562590)下跌0.78%，最新报价1.9元。 规模方面，科创半导体ETF近1周规模增长2.15亿元，实现显著增长，新增规模领先同类；半导体设备 ETF华夏最新规模达27.6亿元。 相关ETF：公开信息显示， 科创半导体ETF（588170）及其联接基金（A类：024417；C类：024418） 跟踪上证科创板半导体材料设备主题指数，囊括科创板中半导体设备（60%）和半导体材料（25%）细 分领域的硬科 ...