研判2026!中国高纯三甲基铝行业概述、分类、产业链图谱及市场现状分析:行业呈现“技术突破-产能扩张-国产替代”的良性循环[图]
内容概况:高纯三甲基铝作为MOCVD和ALD工艺中最核心的铝源前驱体,是制造GaN基LED外延片、 氮化铝薄膜等关键器件的"工业粮食"。随着我国集成电路产量持续攀升,以及以第三代半导体为核心的 射频器件、功率芯片在5G通信、新能源汽车领域的加速应用,对包括高纯三甲基铝在内的关键电子材 料产生了强劲且持续的增量需求。2024年,中国高纯三甲基铝行业市场规模约为11.22亿元,同比增长 11.20%。 相关上市企业:南大光电(300346)、雅克科技(002409) 一、行业概述 高纯三甲基铝是一种无色透明、在空气中极易自燃、遇水会发生剧烈爆炸的液体,必须在惰性气体保护 下储存和运输。正是这种高活性,其被用于金属有机化合物化学气相沉积(MOCVD)和原子层沉积 (ALD)工艺的关键前驱体材料,其纯度通常在99.999%(5N)以上。其核心功能是为半导体、LED、 太阳能电池等高科技产业提供铝源,薄膜质量的优劣直接取决于其纯度。按纯度等级分类,高纯三甲基 铝主要分为5N级、6N级、6.5N级等类型。 高纯三甲基铝分类 二、行业产业链 高纯三甲基铝行业产业链上游主要包括高纯铝、卤代甲烷、金属催化剂、惰性气体等原材料, ...