科创半导体设备ETF鹏华(589020)涨超5.7%，半导体产业链强势拉升

截至2026年2月25日 13:29，上证科创板半导体材料设备主题指数(950125)强势上涨5.99%，成分股有研 硅上涨20.00%，和林微纳上涨20.00%，富创精密上涨15.19%，中船特气，拓荆科技等个股跟涨。科创 半导体设备ETF鹏华(589020)上涨5.75%， 冲击4连涨。最新价报1.53元。 科创半导体设备ETF鹏华紧密跟踪上证科创板半导体材料设备主题指数，上证科创板半导体材料设备主 题指数选取科创板内业务涉及半导体材料和半导体设备等领域的上市公司证券作为指数样本，以反映科 创板半导体材料和设备上市公司证券的整体表现。 数据显示，截至2026年1月30日，上证科创板半导体材料设备主题指数(950125)前十大权重股分别为华 海清科、中微公司、拓荆科技、中科飞测、沪硅产业、芯源微、安集科技、华峰测控、天岳先进、盛美 上海，前十大权重股合计占比73.89%。 午后半导体设备涨幅扩大，消息面上，2月24日，上交所官网显示，盛合晶微科创板IPO已成功通过上 交所上市审核委员会审议。若最终成功发行，盛合晶微将成为A股市场首家以晶圆级先进封装为核心业 务的上市公司。此外，春节期间，多家云厂商积极推进数 ...