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新凯来:中国半导体装备的“破局者”如何跨越万重山?
材料汇·2025-04-20 13:16

点击 最 下方 "在看"和" "并分享,"关注"材料汇 添加 小编微信 ,遇见 志同道合 的你 写在前面 (文末有惊喜) 一直在路上,所以停下脚步,只在于分享 包括: 新 材料/ 半导体 / 新能源/光伏/显示材料 等 正文 目录 引言:从 "卡脖子" 到 "破局者" 的逆袭之路 一、登山者的起点:从实验室到产业突围战 1.1 深圳基因与国资赋能 1.2 技术突围的 "名山战略" 二、名山矩阵:突破国际垄断的 "硬核装备" 2.1 工艺装备:从微米到纳米的精度革命 --峨眉山 EPI:国产外延沉积的 "纳米级精度革命" --三清山 RTP:半导体热处理的 "中国速度" --武夷山 Etch:半导体制造的 "纳米雕刻师" --普陀山 PVD:金属互连的 "中国精度" --阿里山 ALD:原子级薄膜沉积的 "中国精度革命" 三、生态突围战:构建 "中国芯" 产业闭环 --长白山 CVD:化学气相沉积的 "中国精度革命" 2.2 量检测装备:半导体制造的 "火眼金睛" --岳麓山 BFI:国产明场缺陷检测设备的破局之作 --丹霞山 DFI:暗场缺陷检测的 "纳米级猎手" --蓬莱山 PC:无图案晶圆检测的 "隐形守 ...