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科睿迅:半导体核心材料国产化领军者,开启PVA Brush领域新篇章
材料汇·2025-05-27 15:12

点击 最 下方 " 推荐"、"赞 "及" 分享 ","关注"材料汇 添加 小编微信 ,遇见 志同道合 的你 正文 导语 : 在半导体产业链加速自主可控的浪潮下,科睿迅(上海)材料科技有限公司凭借突破性技术,成 为国内首家实现 CMP 后清洗晶圆刷国产化的企业。其自主研发的半导体级 PVA 清洗刷已通过国内头部 Fab 厂验证,填补了国内空白,为中国半导体材料国产化注入强劲动力。 核心技术突破:打破国际垄断的 "中国刷" 半导体制造中,CMP(化学机械抛光)后的清洗环节直接影响芯片良率,晶圆表面的纳米级污染物可能导 致芯片失效。传统硬质刷辊容易划伤晶圆,且静电吸附会引发二次污染。科睿迅核心产品 —— CMP 后清 洗 刷辊 ,采用国际领先的 PVA(聚乙烯醇)材料技术,通过发泡工艺形成多孔结构,具备三大核心优 势: 高效清洁 : 吸水后柔软弹性的刷毛可精准移除晶圆表面颗粒污染物,同时避免划痕; 超高洁净度 : 百级洁净室生产工艺确保刷毛无颗粒脱落,符合半导体行业严苛标准; 2024 年 9 月,科睿迅 南通经开区年产 20 万支半导体用 PVA 清洗刷项目 正式落成,这是国内首条该类 产品量产线,彻底打破 10 ...