中科仪——深耕近70年 实现国内干式真空泵多项零的突破

在半导体制造这个"纳米级微观手术"中，干式真空泵扮演着至关重要的角色。干式真空泵能快速、干净地把芯 片加工腔室里的空气和各种气体"抽走"，为芯片制造提供工艺所必需的洁净真空环境，完成薄膜沉积、刻蚀、 离子注入、光刻等超微加工。 在新三板挂牌的中科仪，依托高真空、超高真空和超洁净真空技术优势，攻克了一系列产业共性、关键技术难 题，致力于研制开发先进的干式真空泵、真空仪器设备，产品均达到国际同类产品先进水平，填补了国内同类 产品空白。 中科仪干式真空泵已 实现集成电路产业核心部件国产化多项零的突破。 潜望系列深度报道丨 股事会专栏 丨 投资小红书 丨 e公司调查 丨 时报会客厅 丨 十大明星私募访谈 丨 科创板第五套标准重启！禾元生物IPO即将上会 丨 又有公司进入退市整理期！ 丨 促消费！央 行、证监会等联合印发！ 丨 大涨！牛市旗手，再现百亿成交！ 丨 刚刚，突破！中国资产，全线爆 发！ 丨 伊朗和以色列宣布正式停火 丨 亚太市场，普涨！A股，拉升！以伊停火最新进展→ 丨 昨 夜，油价暴跌！伊朗官员证实：接受停火方案 丨 重磅！特朗普：以色列和伊朗已同意全面停火 丨 美联储重磅！ 版权声明 证券时报各平台所有 ...