中标超千万元！8月刻蚀设备采购市场活跃，北方华创或成最大赢家

摘要 ： 8.1-8.29日，国内多家科研机构公布刻蚀设备采购中标结果，总金额超千万元，北方华创、矢量科学、SENTECH等企业中标，反映半导体设备需求增长 及市场竞争格局。 特别提示 微信机制调整，点击顶部"仪器信息网" → 右上方"…" → 设为 ★ 星标，否则很可能无法看到我们的推送。 8.1-8.29日，国内多家科研机构与实验室刻蚀设备采购项目中标结果陆续公布，涉及ICP电感耦合等离子体刻蚀机、低损伤刻蚀设备等多类高 端工艺装备，总金额 超千万元 ，反映出国内微纳加工与半导体领域持续增强的设备需求。 其 中 ， 中 国 科 学 院 上 海 技 术 物 理 研 究 所 采 购 的 " 低 损 伤 电 感 耦 合 等 离 子 体 刻 蚀 槽 像 元 隔 离 设 备 " 由 北 方 华 创 中 标 ， 型 号 HSE M200 ， 金 额 达 366.6万元，北方华创另一套GSE C200型号ICP刻蚀设备也成功中标松山湖材料实验室，金额205万元，显示出其在刻蚀设备市场的强劲竞 争力。 南京大学采购的ICP刻蚀机由矢量科学（Vector Science）中标，型号V-ICP100S，成交金额148.9万元 ...