预算1.46亿元！中国科学院上海微系统所近期大批仪器采购意向

摘要 ： 近日，中国科学院上海微系统与信息技术研究所发布多批政府采购意向，仪器信息网特对其中的仪器设备品目进行梳理，统 计出23项仪器设备采购意向，预算总额达1.46亿元。 特别提示 微信机制调整，点击顶部"仪器信息网" → 右上方"…" → 设为 ★ 星标，否则很可能无法看到我们的推送。 近 日 ， 中 国 科 学 院 上 海 微 系 统 与 信 息 技 术 研 究 所 发 布 23 项 仪 器 设 备 采 购 意 向 ， 预 算 总 额 达 1.46 亿 元 ， 涉 及 MEMS晶圆双面对准与光刻系统 、高质量氧化介质薄膜制备单元、高致密度高粘附多层金属材料制备单元 、等离子去 胶机 、晶圆激光解键合机 等，预计采购时间为202 5 年 8~11 月。 采购方简介： 中国科学院上海微系统与信息技术研究所是 中国最早的工学研究机构之一。中国科学院上海微系统与信 息技术研究所原名中国科学院上海冶金研究所，前身是成立于1928年的国立中央研究院工程研究所，是中国最早的工 学研究机构之一。新中国成立后隶属中国科学院，曾命名中国科学院工学实验馆、中国科学院冶金陶瓷研究所。2001 年 8 月 ， 根 据 科 研 领 ...