预算1.16亿元！中国科学院微电子研究所近期大批仪器采购意向

中国科学院微电子研究所 摘要 ： 近日，中国科学院微电子研究所发布多批政府采购意向，仪器信息网特对其中的仪器设备品目进 行梳理，统计出3项仪器设备采购意向，预算总额达1.16亿元。 特别提示 微信机制调整，点击顶部"仪器信息网" → 右上方"…" → 设为 ★ 星标，否则很可能无法看到我 们的推送。 近日， 中国科学院微电子研究所发布 3 项仪器设备采购意向，预算总额达 1 . 1 6 亿 元，涉及 1 2吋高深宽比工艺氧化硅填充化学气相沉积系统、光刻套刻精度测量设备(IBO) 、光刻套刻精 度测量设备(DBO) 等，预计采购时间为2 0 2 5 年 11~1 2 月。 详细采购清单： 发 文 不 易 ， 请 帮 小 编 点 下 "❤️" ↓ | 版 权 ： 本 文 部 分 素 材 源 自 网 络 ， 版 权 归 原 作 者 所 有 ， 观 点 代 表 作 者 本 人 ， 不 代 表 本 号 立 场 | 转 载 ： 须 本 号 授 权 ， 请 联 系 主 编 | 来 源 ： 仪 器 信 息 网 | 责 编 ： 安 安 | 视 觉 ： 长 艳 柱 子 2 0 2 5 年 11 ~ 1 2 月仪器设备采购 意向汇 ...