中科飞测，国产高端仪器设备关键突破！

摘要 ： 国产高端量测装备再添关键利器 。 特别提示 微信机制调整，点击顶部"仪器信息网" → 右上方"…" → 设为 ★ 星标，否则很可能无法看到我们的推送。 国产高端量测装备再添关键利器，中科飞测近日正式发布 首台电子束关键尺寸量测设备（CD-SEM） MAGNOLIAEBM-600。 | 转 载 ： 须 本 号 授 权 ， 请 联 系 主 编 高端电子束设备是决定芯片良率与性能的核心装备，长期依赖进口。 此次发布的电子束关键尺寸量测设备主要面向1Xnm先进逻辑及存储芯片 制造中的关键制程工艺，适用于光刻、刻蚀等核心环节的关键尺寸监控，在多项性能指标上已达到甚至超越国际同类水平，展现出显著的国产 替代潜力。 | 版 权 ： 本 文 部 分 素 材 源 自 网 络 ， 版 权 归 原 作 者 所 有 ， 观 点 代 表 作 者 本 人 ， 不 代 表 本 号 立 场 | 来 源 ： 仪 器 信 息 网 | 作 者 ： 土 豆 | 责 编 ： 安 安 | 视 觉 ： 长 艳 柱 子 发 文 不 易 ， 请 帮 小 编 点 下 " ❤️ " ↓ ...