中国10种半导体设备国产化率30%、特殊涂层零部件发展情况：产业链、技术工艺、应用领域
材料汇·2026-01-20 16:00
点击 最 下方 关注《材料汇》 ， 点击"在看"和" "并分享 添加 小编微信 ，遇见 志同道合 的你 正文 中国半导体设备市场国产化率情况 | 设备种类 | 外资品牌 | 国产品牌 | 2024年国产化率 | | --- | --- | --- | --- | | 去胶设备 | TEL、PSK、Hitachi | 盛美上海、至纯科技、拓 荆科技、屹唐半导体 | 80-90% | | 刻蚀设备 | LAM、TEL、AMAT | 中微公司、北方华创、新 凯来、屹唐半导体等 | 30-40% | | 清洗设备 | DNS、TEL、KLA、 SCREEN | 盛美上海、北方华创、至 纯科技等 公众号 | 战略产业新研究 | | 热处理设备 | ASMI、AMAT、 | 北方华创、华卓精科、屹 | 30-40% | | --- | --- | --- | --- | | | TEL、Kokusai | 唐半导体、新凯来 | | | | AMAT、LAM、TEL、 | 北方华创、拓荆科技、中 | | | 薄膜沉积设备 | ASM | 微公司、微导纳米、至纯 | 25-30% | | | | 科技、盛美上海、新凯来 | ...