科学仪器利好:简读《北京市原子级制造创新发展行动计划(2026—2028年)》
仪器信息网·2026-02-04 09:02
日前,北京市经信局编制并发布了《北京市原子级制造创新发展行动计划(2 0 2 6 - 2 0 2 8年)》 (后称"《行动计划》")。 特别提示 微信机制调整,点击顶部"仪器信息网" → 右上方"…" → 设为 ★ 星标,否则很可能无法看到我 们的推送。 《行动计划》 将发展高精尖的 科学仪器与检验检测技术视为核心基础 ,重点面向半导体与新 材料领域开展技术与装备攻关,围绕原子级制造软件、加工装备、构筑装备、检测装备 4个 方 向,部署 2 0项 攻关任务。 其中 "检测装备攻关"和各类装备的"精度验证"需求中均对科学仪器与检验检测行业有所部署 : 仪器和检测装备攻关 《行动计划》 专门提到"原子级性能测量装备攻关工程",旨在研制用于原子尺度测量的高端科 学仪器,主要分三个方向: 超高精度测量 :例如,开发激光干涉测量装备,目标是达到"亚埃级"(即小于十分之一纳米) 的精度,以满足芯片制造等前沿领域对超精密测量的需求。 微观分析检测 :计划攻关集成磁场、温度场、原子力、扫描电镜等的微纳显微测量装备,用于 集成电路的失效分析和缺陷定位,这对应了实验室里材料微观结构分析和故障诊断的需求。 极痕量检测 :支持研制超 ...