华海清科(688120) - 关于CMP装备累计出机超800台的自愿性披露公告

近日，华海清科股份有限公司（以下简称"公司"）化学机械抛光（CMP） 装备出机累计超 800 台，涵盖公司 Universal-H300、 Universal-S300 等多款主 力机型和最新款机型，不仅全面覆盖逻辑、3D NAND 存储、DRAM 存储等主流产品 线，更成功切入大硅片、第三代半导体、CIS、MEMS、MicroLED 以及先进封装等 领域头部客户供应链，已实现国内主流集成电路制造产线的全覆盖和批量化应用。 公司 CMP 装备出机前已通过出厂检测，但机台仍需在客户现场完成安装调 试及工艺验证，可能受客户产线适配、技术参数优化等因素影响，存在验证周期 延长或不及预期的风险，公司将全力配合客户推进验收工作。同时，公司新产品 机台尚需市场推广和更多客户验证，存在未来市场推广与客户开拓不及预期的风 险。 一、本次出机情况及对公司影响 近日，公司 CMP 装备累计出机超 800 台，涵盖公司 Universal-H300、 Universal-S300 等多款主力机型和最新款机型，不仅全面覆盖逻辑、3D NAND 存储、DRAM 存储等主流产品线，更成功切入大硅片、第三代半导体、CIS、MEMS、 Mi ...