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中芯国际申请半导体结构及其形成方法专利,提高器件集成度
688981SMIC(688981) 搜狐财经·2025-04-17 11:33

金融界2025年4月17日消息,国家知识产权局信息显示,中芯国际集成电路制造(北京)有限公司、中芯 京城集成电路制造(北京)有限公司、中芯国际集成电路制造(上海)有限公司申请一项名为"半导体结 构及其形成方法"的专利,公开号CN 119833523 A,申请日期为2023年10月。 专利摘要显示,一种半导体结构及其形成方法,方法包括:提供存储晶圆,存储晶圆包括第二衬底,具 有相对的第三面与第四面,包括位于第三面上的第二器件层;提供第一衬底,包括第一半导体层、位于 第一半导体层表面的埋氧层以及位于埋氧层表面的第二半导体层,第一衬底包括相对的第一面和第二 面,第一面为第二半导体层表面;在第一面表面形成第一器件层;将第三面与第一器件层相键合;在第 一半导体层内形成阱区;在第一衬底、第一器件层以及存储晶圆内形成贯穿第一衬底、第一器件层以及 存储晶圆的第一导电插塞;在第二面表面形成第一互连结构,第一互连结构与阱区电连接。各晶圆沿竖 直方向电连接,使得各晶圆表面无高度差且减小水平方向芯片面积,提高器件集成度。 天眼查资料显示,中芯国际集成电路制造(北京)有限公司,成立于2002年,位于北京市,是一家以从事 计算机、通信和 ...