ASML叫停韩国工厂

来源：半导体产业纵横 ASML第一季度订单"令人失望"。 刚刚国家知识产权局信息显示，ASML 荷兰有限公司取得一项名为"用于晶片接地的方法、设备和系 统"的专利，授权公告号 CN114287051B，申请日期为 2020 年 8 月。 2023年末，三星与ASML签署了一项价值1万亿韩元的协议，双方将在韩国京畿道东滩投资建设半导体 芯片研究设施，并在那里共同努力改进EUV光刻制造技术。与此同时，三星还获得了High-NA EUV光 刻设备技术的优先权。 据TrendForce报道，ASML现在似乎放弃了与三星的合作建设半导体芯片研究设施，开始将早期购买的 土地出售。据了解，ASML在去年购入了6块土地，总面积达到了约19000平方米，其中2块已经出售， 另外2块在挂牌出售。至于具体什么原因，或者双方计划有什么改变，暂时还不清楚。 此举引发了外界对ASML与三星合作伙伴关系的质疑，不过有消息称，双方正在寻求更有效的替代方 案，比如寻找新地点另外建造研究设施，可能位于华城郊外，甚至可能选择在三星的园区内。由于韩国 是ASML的关键市场之一，随着三星推进先进制程节点的开发，双方应该会继续保持密切合作。根据 ASM ...