Micro LED巨量检测难题获突破

2024年，海目星携手福州大学吴朝兴教授团队，开展复杂电磁环境中的"机械-电气-发光-采集"功能模组 的设计与整合，以及控制与光电采集信号的同步，成功研制晶圆级Micro LED芯片的非接触电致发光检 测工程样机FED-NCEL。基于该样机的研发成果，可对红、绿、蓝Micro LED外延片、晶圆(COW)以及 转移到临时载板的芯片(COC)进行无接触电致发光检测。高精度、高稳定性、高效率的技术特点，极大 地提升了工艺良率水平，降低了制造成本。(显言) Micro LED具有高亮度、高对比度、高分辨率、长使用寿命、低功耗等优势，可用于AR/VR、柔性显 示、透明显示等高端应用领域。然而Micro LED产业化进程的核心环节之一--Micro LED晶圆检测，目前 无法满足产业高精、高效、无损的需求。针对Micro LED晶圆级生产工艺的高效精准的检测方式已成为 实现行业量产的技术难题之一。 面对Micro LED巨量检测的诸多行业痛点，福州大学吴朝兴教授团队提出Micro LED芯片的无接触电致 发光检测方案，即在外部检测电极与Micro LED芯片之间不接触的情况下实现LED芯片的电致发光。在 该模式中，外部 ...