安集科技(688019)：先进制程产品持续上量 平台化建设加速推进

安集科技围绕"抛光、清洗、沉积"三大关键工艺布局产品，部分技术已达到国际先进水平，先进制程用 高端新品研发及产业化进展顺利，显著受益中国大陆晶圆产能持续扩张和稼动率维持高位。 化学机械抛光液：公司致力于实现全品类产品线的布局和覆盖。铜及铜阻挡层抛光液产品在先进制程持 续上量，多款产品在多个新客户端作为首选供应商实现量产销售，使用国产研磨颗粒的铜及铜阻挡层抛 光液持续量产销售。多款氮化硅抛光液在客户端的验证持续进行，与客户合作定制的氮化硅抛光液实现 销售；使用国产研磨颗粒的氧化物抛光液销售逐步上量。 多款钨抛光液在存储芯片和逻辑芯片的先进制程通过验证，销售持续上量。先进制程用浅槽隔离抛光液 验证进展顺利。先进封装领域，用于2.5D，3D TSV 抛光液、混合键合抛光液和聚合物抛光液进展顺 利，在国内客户均作为首选供应商帮助客户打通技术路线。 功能性湿电子化学品：公司致力于攻克领先技术节点难关并提供相应的产品和解决方案，目前已涵盖刻 蚀后清洗液、光刻胶剥离液、抛光后清洗液及刻蚀液等多种产品系列，广泛应用于逻辑电路、3D NAND、DRAM、CIS 等特色工艺及异质封装等领域。先进制程刻蚀后清洗液研发及产业化顺利， ...