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中芯国际申请半导体结构及其形成方法专利,降低了引出结构发生漏电的可能性

中芯国际集成电路制造(上海)有限公司,成立于2000年,位于上海市,是一家以从事专用设备制造业为 主的企业。企业注册资本244000万美元。通过天眼查大数据分析,中芯国际集成电路制造(上海)有限公 司共对外投资了4家企业,参与招投标项目127次,财产线索方面有商标信息150条,专利信息5000条, 此外企业还拥有行政许可442个。 来源:金融界 金融界2025年6月21日消息,国家知识产权局信息显示,中芯国际集成电路制造(北京)有限公司;中芯国 际集成电路制造(上海)有限公司申请一项名为"半导体结构及其形成方法"的专利,公开号 CN120184119A,申请日期为2023年12月。 专利摘要显示,一种半导体结构及其形成方法,其中形成方法包括:提供第一衬底,具有相对的第一面 与第二面,第一衬底包括若干相互分立的引出区以及包围各引出区的各改性区;对各改性区进行改性处 理以使各改性区具有导电性;在第一面表面形成第一器件层,第一器件层包括第一介质层以及位于第一 介质层内的第一互连结构;在引出区内形成若干第一开口,第一开口自第二面向第一面贯穿第一衬底, 且第一开口底部暴露出第一互连结构的部分表面;在各第一开口底部形成引 ...