京仪装备申请半导体温控模块TVOC减排系统及方法专利，规避总挥发性有机化合物的超标风险

专利摘要显示，本申请涉及一种半导体温控模块TVOC减排系统及方法，其中半导体温控模块TVOC减 排系统用于温控模块的TVOC减排，所述温控模块连接有抽排管道，所述抽排管道连接有抽排风机，所 述抽排风机通过排废管道与废气处理模块连接，用于将温控模块的TVOC引排至所述废气处理模块进行 处理；所述抽排管道和/或所述排废管道上设置有TVOC浓度传感器、气体流量计、压力传感器以及流量 调节阀，且分别与减排系统的控制模块电连接；所述抽排风机与所述控制模块电连接。本发明能够适用 于半导体制造温控模块的TVOC超标处理，尤其适用于因胶水、保温棉和冷却液等的使用导致TVOC超 标的温控模块，规避总挥发性有机化合物的超标风险。 天眼查资料显示，北京京仪自动化装备技术股份有限公司，成立于2016年，位于北京市，是一家以从事 专用设备制造业为主的企业。企业注册资本16800万人民币。通过天眼查大数据分析，北京京仪自动化 装备技术股份有限公司共对外投资了3家企业，参与招投标项目86次，财产线索方面有商标信息22条， 专利信息470条，此外企业还拥有行政许可13个。 金融界2025年6月28日消息，国家知识产权局信息显示，北京京仪自动 ...