国产首台商用200千伏场发射透射电子显微镜发布 分辨率达纳米级,这台显微镜何以超“高清”(探一线)
Ren Min Ri Bao·2025-07-18 21:30
"高端透射电镜产业长期被国外仪器公司垄断,核心零部件受到国外技术封锁,我们历时5年攻关,实现 自主可控、国产替代。"唐爱权说,在精密加工方面,联动上下游企业,进行铁磁材料等原材料的好中 选优及热处理等工艺的提质升级,同时自研夹具和制具,实现加工设备与检测设备的集成创新,保障数 千个零部件全部符合精度要求;在高压稳定方面,通过对电路设计的20多次改版,以及上百次的优化迭 代,实现了200千伏电压的稳定输出。 透射电子显微镜广泛应用于纳米级的研究与观测,是材料科学、生命科学和半导体等研究领域必需的支 撑性研究设备。"我们计划先进行一年左右的性能验明工作,再开展科学研究。"姚志刚介绍,为支持国 产"首台套",该设备安装完毕后将对校内外科研团队免费开放使用,这样既能验证性能,又支持了科研 发展,还推广了高端分析仪器的市场应用,一举多得。 这要从光学显微镜的成像原理说起:光学显微镜的光源为可见光,而电子显微镜的光源为电子束。当显 微镜中的电子束在经高压加速后穿透样品时,会携带样品内部结构的信息。"这些信息经过放大系统成 像后,可以放大百万倍,从而帮助使用者观察亚纳米级图像。"仪器生产厂家、苏州博众仪器科技有限 公司总经 ...