中芯国际申请存储器结构及其形成方法专利,减小了由于沟道长度缩短带来的短沟道效应
中芯国际集成电路制造(上海)有限公司,成立于2000年,位于上海市,是一家以从事计算机、通信和其 他电子设备制造业为主的企业。企业注册资本244000万美元。通过天眼查大数据分析,中芯国际集成电 路制造(上海)有限公司共对外投资了4家企业,参与招投标项目127次,财产线索方面有商标信息150 条,专利信息5000条,此外企业还拥有行政许可451个。 来源:金融界 专利摘要显示,一种存储器结构及其形成方法,其中存储器结构包括:衬底;位于衬底上的沟道结构, 所述沟道结构包括位线区以及源线区,所述沟道结构的材料包括过渡金属硫化物;位于所述源线区上的 擦除栅、位于所述源线区上的浮栅、位于所述浮栅上的控制栅结构、位于所述源线区上的字线栅,所述 浮栅位于所述擦除栅和所述字线栅之间,所述浮栅的材料包括石墨烯材料;位于所述位线区上的位线。 采用过渡金属硫化物作为沟道材料,以及采用石墨烯材料作为浮栅,减小了由于沟道长度缩短带来的短 沟道效应、以及沟道和浮栅之间的漏电问题,提高了存储器结构的性能以及降低了存储面积。 天眼查资料显示,中芯国际集成电路制造(北京)有限公司,成立于2002年,位于北京市,是一家以从事 计算机、通信和其 ...