江苏微导纳米申请半导体生产设备及其控制方法等专利，提升产品的质量和良率

天眼查资料显示，江苏微导纳米科技股份有限公司，成立于2015年，位于无锡市，是一家以从事专用设 备制造业为主的企业。企业注册资本45767.8129万人民币。通过天眼查大数据分析，江苏微导纳米科技 股份有限公司共对外投资了2家企业，参与招投标项目47次，财产线索方面有商标信息89条，专利信息 527条，此外企业还拥有行政许可68个。 金融界2025年8月9日消息，国家知识产权局信息显示，江苏微导纳米科技股份有限公司申请一项名 为"一种半导体生产设备及其控制方法、控制装置"的专利，公开号CN120443149A，申请日期为2025年 05月。 专利摘要显示，本发明公开一种半导体生产设备及其控制方法、控制装置，其中，该控制方法包括：获 取基片的实测膜层厚度d；计算所述实测膜层厚度d和设计膜层厚度d0的差值，以得到实测膜层厚度差 △d；获取反应腔室内的实测温度T；计算所述实测温度T和设计温度T0的差值，以得到实测温差△T； 根据所述实测温差△T计算受温度影响而产生的第一膜层厚度差△d1；计算所述实测膜层厚度差△d和 所述第一膜层厚度差△d1的差值，以得到第二膜层厚度差△d2；根据所述第二膜层厚度差△d2计算下一 生 ...