拓荆科技上半年营收同比增长54.25% 产品竞争力持续提升

8月25日晚间，拓荆科技发布2025年半年度报告。 据披露，2025年上半年，公司实现营业收入19.54亿元，同比增长54.25%，其中第二季度单季营业收入 达到12.45亿元，同比增长56.64%，环比第一季度增长75.74%，呈现加速增长态势。主要原因如下：产 品竞争力持续提升，公司先进制程的验证机台已顺利通过客户认证，逐步进入规模化量产阶段。基于新 型设备平台（PF-300T Plus和PF-300M）和新型反应腔（pX和Supra-D）的PECVD Stack（ONO叠层）、 ACHM及PECVD Bianca等先进工艺设备，陆续通过客户验收，量产规模不断增加，ALD设备持续扩大 量产规模，业务增长强劲。 研发方面，公司报告期内的研发投入金额达到3.49亿元，同比增长11.09%，研发投入占营业收入比例为 17.87%。 拓荆科技自设立以来，一直在高端半导体专用设备领域持续深耕，聚焦薄膜沉积设备和应用于三维集成 领域的先进键合设备及配套量检测设备的研发与产业化应用。目前已形成PECVD、ALD、SACVD、 HDPCVD、Flowable CVD等薄膜沉积设备产品，以及应用于三维集成领域的先进键合设备 ...