台积电美国新厂揭密 川流不息“银色高速公路”曝光

台积电上传美国亚利桑那州新厂内部运作影片，让外界一窥这座北美最先进的晶圆制造基地神秘面纱， 当中不仅有ASML造价昂贵的Twinscan NXE极紫外光（EUV）微影设备，在厂区天花板川流不息、运送 晶圆的载具"天车"形成的"银色高速公路"，更是一大吸睛亮点。 台积电在这段长达2分21秒的影片中，为美国新厂大揭密，秀出数百台高科技设备井然有序地生产芯 片，镇厂之宝无疑是ASML的Twinscan NXE极紫外光微影设备，用于产生英伟达Blackwell B300等高端 处理器中最复杂的电路。 接着画面出现所谓的"银色高速公路"，即台积电的自动化物流搬运系统，由悬挂式轨道组成，用来运送 装载12英寸晶圆的前开式晶圆传送盒。画面中可见数百个晶圆传送盒同步移动，展现晶圆在晶圆厂内精 密且高效率的物流运作，这对于在高产能制造环境下维持流程时序非常重要。 这条"银色高速公路"即业界俗称的"天车"，其正式名为"OHT空中走行式无人搬运车（Overhead Hoist Transfer）"，是一种高架搬送系统，它能有效地利用厂房立体空间，在不占用人员走道的前提下，将无 尘室内的空间使用率最大化。 这段影片让外界可以见到台积 ...