微导纳米以创新破局 焕新产业发展活力

半导体器件结构的日益复杂化，对薄膜沉积技术提出了更高要求。光刻、刻蚀等工艺需与ALD技术精 密结合，才能制造出数亿级晶体管的复杂芯片。ALD技术由此成为半导体制造的核心基础工艺之一， 其发展水平直接关系到半导体芯片复杂功能的实现。 立足于此，微导纳米自2015年成立以来，立足国家战略与市场需求，始终坚持自主创新，聚焦先进微米 级、纳米级薄膜沉积设备研发、生产和销售，全力推动原子层沉积技术研发进程，加速产品创新与新赛 道开发布局。 原子层沉积（ALD）技术是先进半导体制造中不可或缺的关键工艺。作为一家面向全球的半导体、泛 半导体高端微纳装备制造商，江苏微导纳米科技股份有限公司（以下简称"微导纳米"）自成立以来，持 续深耕原子层沉积技术，凭借自主研发、应用牵引、生态营造，逐步成长为国内ALD薄膜沉积设备领 域领军企业，相关产品涵盖逻辑、存储、先进封装、化合物半导体等细分应用领域。 瞄准行业痛点 深耕细分领域 创新产品持续涌现的背后，是微导纳米持之以恒的创新、突破和超越。在坚持自主研发的道路上，微导 纳米深谙协同创新的重要性，依托其在供需两端的独特优势，持续强化企业创新策源能力，不断增加高 质量科技供给。 产学研深 ...