华海清科：12英寸减薄抛光一体机出机量突破20台

华海清科介绍，减薄抛光一体机的成功是公司坚持自主创新、攻克关键工艺的缩影。公司自2021年首台 装备出机发往客户端，到2023年量产机台的顺利交付，再到如今的出机量突破20台，其凭借颠覆性的创 新设计，将磨削减薄、化学机械抛光(CMP)与清洗模块一体化集成，实现了从装备结构、控制系统到工 艺集成的全方位突破，不仅显著提升了减薄精度与工艺稳定性，更解决了复杂翘曲形态晶圆传输系统、 跨洁净度等级清洗等一系列难题。 中证报中证网讯(王珞)12月10日，华海清科官微披露，公司自主研发的12英寸减薄抛光一体机Versatile- GP300累计出机量突破20台。这一发展里程碑，不仅体现了该装备卓越的技术性能与稳定的量产能力获 得市场高度认可，更标志着国产高端半导体装备在3D IC、先进封装等关键工艺领域实现了从技术突破 到规模化应用的重要跨越，为产业发展注入强劲动力。 公司创新设计与稳定的量产能力为Versatile-GP300赢得行业高度关注与权威认可。该产品自面世以来已 陆续荣获多项殊荣，更在今年成功斩获好设计金奖，其行业价值与贡献得到充分肯定。市场的认可是产 品最有力的证明，该装备凭借优异的性能表现，已获得多家头 ...