拓荆科技：部分薄膜沉积设备会用臭氧作为反应源或清理反应环境
Piotech Piotech (SH:688072) Zheng Quan Ri Bao·2026-01-05 13:15

（文章来源：证券日报） 证券日报网讯 1月5日，拓荆科技在互动平台回答投资者提问时表示，公司部分薄膜沉积设备会用臭氧 作为反应源或清理反应环境。 ...